特許
J-GLOBAL ID：200903003118109370
電子顕微鏡用試料ホールダ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124122
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312763
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 試料が強磁性体などの場合に生じる光軸のずれや対物レンズの非点収差を軽減し、強磁性体材料の観察、分析を容易に行えるようにする。【解決手段】 電子顕微鏡の試料ホールダ1に磁性材料を用いた磁場歪み補正片4あるいは磁場歪み補正コイルを組み込むことにより、磁性を帯びた試料3自体により生ずる試料近傍の磁場分布の乱れを自ら補正する。
請求項（抜粋）：
試料装着箇所と、磁性材料で作られた磁場歪み補正片の装着箇所とを有し、試料と前記磁場歪み補正片の配置関係を調整することにより磁性試料によって生じる試料近傍の磁場分布の乱れを補正する機能を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホールダ。
FI (2件)：
H01J 37/20 A
, H01J 37/20 F
