特許
J-GLOBAL ID:200903003123993475

X線応力測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-024407
公開番号(公開出願番号):特開平5-187937
出願日: 1992年01月14日
公開日(公表日): 1993年07月27日
要約:
【要約】【目的】 試料とX線源との間に試料温度調節装置を介在させる場合でも、散乱X線の影響を受けることなく精度の高いX線回折測定を行なうことのできるX線応力測定装置を提供する。【構成】 X線を発生するX線管1と、試料3を取り囲むケーシング9と、ケーシング9に設けられたX線通過用窓11と、X線を検出するPSPC4とを有しており、X線管1で発生したX線をケーシング9内へ導いて試料3に入射し、試料3で回折したX線をPSPC4によって検出するX線応力測定装置である。試料3に入射する入射X線の光軸Rと、試料3で回折してPSPC4に向かう回折X線の光軸Qとの間であって、上記X線通過用窓11に近接又は接触する位置にX線遮蔽装置13を設ける。
請求項(抜粋):
X線を発生するX線源と、試料を取り囲むケーシングと、ケーシングに設けられたX線通過用窓と、X線を検出するX線検出器とを有しており、X線源で発生したX線をケーシング内へ導いて試料に入射し、試料で回折したX線をX線検出器によって検出するX線応力測定装置において、試料に入射する入射X線の光軸と、試料で回折してX線検出器に向かう回折X線の光軸との間であって、上記X線通過用窓に近接又は接触する位置にX線遮蔽手段を設けたことを特徴とするX線応力測定装置。
IPC (2件):
G01L 1/25 ,  G01L 1/00

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