特許

J-GLOBAL ID：200903003134860752

感光性樹脂組成物

発明者： 加藤 康一 ,  前田 ▲祐▼利 ,  国宗 弘一
出願人/特許権者： チッソ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095934
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308728
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【構成】 一般式(I)【化1】で示される構造単位が20〜80モル部、一般式(II)【化2】で示される構造単位が80〜20モル部からなる対数粘度数0.1〜5.0dl/g(30°C、N-メチル-2-ピロリドン溶媒)のポリイミド前駆体の100重量部およびオルトキノンジアジド化合物の0.5〜50重量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(ただし、式(I)および(II)において、R2は独立に2価の有機基である)。【目的】 本発明の感光性樹脂組成物は、実用上十分な感度を有し、ポジ型の良好なレリーフ・パターンを形成することができる。また保存安定性に優れるため膜厚の経時的な変動が少ない。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】で示される構造単位が20〜80モル部、一般式(II)【化2】で示される構造単位が80〜20モル部からなる対数粘度数0.1〜5.0dl/g(30°C、N-メチル-2-ピロリドン溶媒)のポリイミド前駆体の100重量部およびオルトキノンジアジド化合物の0.5〜50重量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(ただし、式(I)および(II)において、R2は独立に2価の有機基である)。

IPC (8件)：

G03F 7/027 514 ,  C08K 5/23 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312