特許

J-GLOBAL ID：200903003137726291

現像装置

発明者： 冨田 達也
出願人/特許権者： 山口日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329652
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147540
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 ウェハー2の裏面全面から現像液3を除去する機能を有する現像装置を提供する。【解決手段】 ウェハー2の裏面側でウェハー2の回転中心Oからウェハー2の周縁側の径方向に向けてガスを吐出させ、そのガス流でナイフエッジリング4とウェハー2の隙間Sを通って現像液3が内側に入り込むのを阻止するようにしている。

請求項（抜粋）：

ウェハーを回転させた状態で現像液を遠心力によりウェハーの全面に拡散して、ウェハー上のフォトレジストを現像液で現像処理する現像装置において、ウェハーの裏面側に現像液を削ぎ落とすナイフエッジリングを設け、ウェハーの裏面側でウェハーの回転中心側からウェハーの周縁側の径方向に向けてガスを吐出させ、そのガス流でナイフエッジリングとウェハーの隙間を通って現像液が内側に入り込むのを阻止するようにしたことを特徴とする現像装置。

IPC (2件)：

G03F 7/30 502 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 569 C

Fターム (7件)：

2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096GA02 ,  2H096GA29 ,  5F046LA02 ,  5F046LA06 ,  5F046LA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-156974