露光マスク作製用のブランクス保持具および露光マスクの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338890
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142380
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】露光マスク形成用のブランクスの一方の面に既に形成されたパターンを非破壊に保った状態で、他面の加工を行うことが可能なブランクス保持具および露光マスクの製造方法を提供する。【解決手段】支持枠101によって薄膜状のメンブレン102を支持してなる露光マスク作製用のブランクス100が載置される保持具1であって、ブランクス100が載置される載置面3aを有する本体3を備えている。この載置面3aには、ブランクス100を載置面3aに載置した状態で、ブランクス100の支持枠101の内周となる位置に窪み7が形成されていることを特徴としている。また載置面3aには、窪み7からブランクス100の外周位置に引き出される排気溝9が設けられていることとする。

請求項（抜粋）：

支持枠によって薄膜状のメンブレンを支持してなる露光マスク作製用のブランクスが載置される保持具であって、前記ブランクスが載置される載置面を有する板状の本体を備え、前記載置面には、前記ブランクスを当該載置面に載置した状態で当該ブランクスにおける支持枠の内周となる位置に窪みが形成されていることを特徴とする露光マスク作製用のブランクス保持具。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 1/16

FI (5件)：

G03F 1/16 A , G03F 1/16 B , H01L 21/30 531 M , H01L 21/30 541 L , H01L 21/30 541 P

Fターム (11件)：

2H095BA08 , 2H095BA10 , 2H095BB29 , 2H095BB31 , 5F046GD04 , 5F046GD10 , 5F046GD13 , 5F046GD15 , 5F046GD20 , 5F056FA05 , 5F056FA10

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