特許
J-GLOBAL ID：200903003150612670
ステージ装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-038029
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218941
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 ワークステージの高さ位置を検出するオプティカルエンコーダの計測エラーを防ぐ。【解決手段】 ガラス基板を保持するプレートチャック10の高さ位置とチルトは、3個のリニアモータ14によって制御される。各リニアモータ14の近傍には、センサ部15aとスケール部15bからなるオプティカルエンコーダ15が配設され、それぞれプレートチャック10の高さ位置を計測する。3個の計測値に基づいて各オプティカルエンコーダ15のスケール部15bのローリング量とピッチング量を算出し、これらが所定のしきい値を超えたときに警告を発するように構成する。
請求項（抜粋）：
ワーク保持面を有する保持板と、該保持板を所定の高さに支持する支持手段と、前記ワーク保持面に沿って互いに離間した3点においてそれぞれ前記保持板の高さ位置を計測する3個の光学的位置検出手段と、該3個の光学的位置検出手段のそれぞれの出力に基づいて各光学的位置検出手段の姿勢変化を算出する演算手段を有するステージ装置。
IPC (5件)：
G03F 9/00
, B23Q 11/00
, B23Q 17/22
, H01L 21/027
, H01L 21/68
G03F 9/00 Z
, B23Q 11/00 D
, B23Q 17/22 E
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 515 G
