特許
J-GLOBAL ID：200903003162220394
ガラス基板の平面度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塚本 正文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-326179
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126745
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 大型化及び薄型化されたガラスの平面度の測定中の破損を防止し、色むらの発生の検出を容易にするとともに、測定歩留まりを大きくする省人省力的かつハンドリング容易で経済的なガラス基板の平面度測定装置を得る。【解決手段】 ガラス基板2の表面の形状精度を測定する変位計1a,1b,1cと、該基板の面に沿う縦方向及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決めする装置8,5,7,6を有するガラス基板の平面度測定装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周を支承する容器4と、該容器内部の空気圧力Pを該ガラス基板の単位面積あたりの重量に等しくなるように制御する空気圧力制御手段10,11,12,14,15とを具えたこと。
請求項（抜粋）：
ガラス基板表面の形状精度を測定する変位計と、該基板の面に沿う縦方向及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決めする装置を有するガラス基板の平面度測定装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周を支承する容器と、該容器内部の空気圧力を該ガラス基板の単位面積あたりの重量に等しくなるように制御する空気圧力制御手段とを具えたことを特徴とするガラス基板の平面度測定装置。
IPC (2件)：
G01B 13/22
, G01B 21/30 101
G01B 13/22
, G01B 21/30 101 F
