特許

J-GLOBAL ID：200903003163748090

静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロデバイス

発明者： 木幡 八州太郎
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-158424
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001110
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】低コストで、振動板と電極との吸着防止を防止して安定した動作を得ることができない。【解決手段】導電性を有している可動板1と電極2とが微小な空隙3を介して対向配置し、可動板1の対向電極側表面には圧電材料からなる圧電性薄膜4を形成し、可動板1と電極2とが当接したときの圧電性薄膜4の変形で可動板1と電極2との吸着を低減する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

変形可能な可動板とこの可動板に対向する電極とを有し、前記可動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記可動板及び/又は電極の少なくとも接触面に圧電性薄膜が設けられていることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (8件)：

B81B3/00 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H02N1/00

FI (7件)：

B81B3/00 ,  H02N1/00 ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

Fターム (11件)：

2C057AF71 ,  2C057AG41 ,  2C057AG54 ,  2C057AL13 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA04 ,  2C057BA05 ,  2C057BA15