特許
J-GLOBAL ID：200903003164024274

平坦化パターンの生成方法

発明者：
柴田 英則

柴田 英則 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-239450
公開番号（公開出願番号）：特開平9-081622
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【目的】 配線層に対する平坦化パターンの発生方法において、配線パターンのレイアウト設計のデザインルールを満たさない大きさの微小な平坦化パターンを発生させない。【構成】 下層配線層に対する平坦化パターンを発生する方法において、CAD装置により配線周囲のパターンを図形的に反転し、この反転図形パターンを図形の内側に縮小し、この縮小図形パターンと単純図形を繰り返し配置した図形パターンとを論理積演算し、この論理積演算した図形パターンを図形の内側に縮小して、デザインルールを満たさない微細なパターンを削除し、この図形パターンを図形の外側に拡大して、平坦化パターンを得る。
請求項（抜粋）：
配線層の平坦化を行うための平坦化パターンの生成方法であって、配線パターンのレイアウト設計のデザインルールを満たさない平坦化パターンを除去する処理を含むことを特徴とする平坦化パターンの生成方法。
IPC (2件)：
G06F 17/50 ,  H01L 21/82
FI (3件)：
G06F 15/60 658 M ,  G06F 15/60 658 H ,  H01L 21/82 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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