特許
J-GLOBAL ID:200903003165176922

ドライエッチング装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷川 昌夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-102403
公開番号(公開出願番号):特開平7-312362
出願日: 1994年05月17日
公開日(公表日): 1995年11月28日
要約:
【要約】【目的】被処理物を電極上に押圧固定するクランプリング部材を有するドライエッチング装置であって、真空容器内に発生するプラズマによるクランプリング部材表面の帯電を抑制でき、これにより被処理物のエッチングレートの面内均一性を向上させることができるドライエッチング装置を提供する。【構成】エッチング用ガスを電力印加によりプラズマ化させ、該プラズマの下で被処理物をエッチングするドライエッチング装置において、被処理物S1を電力印加電極を兼ねるホルダ2に押圧固定するための、電気絶縁性材料からなる、又は電気的にフローティングされたクランプリング部材8と、クランプリング部材8を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障の無い位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段9と、クランプリング部材8のプラズマに対向する面を覆い、自身の表面電位が固定された遮蔽手段4とを備えているドライエッチング装置。
請求項(抜粋):
エッチング用ガスを電力印加によりプラズマ化させ、該プラズマの下で被処理物をエッチングするドライエッチング装置において、被処理物を電力印加電極を兼ねるホルダに押圧固定するための、電気絶縁性材料からなる、又は電気的にフローテイングされたクランプリング部材と、前記クランプリング部材を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障の無い位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段と、前記クランプリング部材の前記プラズマに対向する面を覆い、自身の表面電位が固定された遮蔽手段とを備えていることを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件):
H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

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