特許
J-GLOBAL ID:200903003166994459

赤外顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 縣 浩介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-191627
公開番号(公開出願番号):特開平7-005367
出願日: 1992年06月25日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】 構造が簡単で、かつ視野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察ができ、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】 赤外顕微鏡において、測定光軸上に開口部を有するアパーチャーの可視像を、上記アパーチャーと対物光学系との間に測定光軸上に斜めに出入自在に設けられたハーフミラーと、測定光軸外に設けた凹面鏡とによって、可視観察用光学系に結像させると共に、試料の顕微鏡像を上記ハーフミラーで可視観察用光学系に結像させることで、両像を赤外測定時と同じ位置関係で観察できるようにした。
請求項(抜粋):
測定光軸上に開口部を有するアパーチャーと、測定光軸上に出入自在に設けられた同アパーチャーの照射用可視光源と、上記アパーチャーと対物光学系との間に測定光軸上に斜めに出入自在に設けられたハーフミラーと、測定光軸外に設けた凹面鏡と、測定光軸に対して同凹面鏡と反対側に設けた可視観察用光学系を有し、上記凹面鏡によってアパーチャーの可視像を可視観察用光学系の光軸上に形成させ、アパーチャーを通らない試料の顕微鏡像とアパーチャーの像を、可視観察用光学系の光軸上に形成して、両者を赤外測定時と同じ位置関係になるように合成し、アパーチャーでマスクされた部分の像も観察しながら、アパーチャーの大きさを調整できるようにしたことを特徴とする赤外顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G01N 21/00

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