特許

J-GLOBAL ID：200903003174479776

変位測定プローブ

発明者： 大家 清 ,  荒井 治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049163
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219753
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 どのような測定の場合にも測定子の変形量を補正することができ、測定精度を向上させた変位測定プローブを提供する。【構成】 測定機本体への取付部11と、スタイラス12と、スタイラスを取付部11に互いに直交する3つの軸方向に変位可能に支持する支持機構13〜15と、スタイラス12の各軸方向への変位量を検出するX軸用、Y軸用及びZ軸用エンコーダ16〜18とを備えた変位測定プローブにおいて、スタイラス12が被検物の表面に押し付けられた時、スタイラスに作用する押し付け力を検出する押し付け力検出部50と、押し付け力からスタイラスの変形量を演算する演算手段とを備えている。スタイラスがある特定の方向に変位しないようにクランプして測定する場合でも、クランプした方向におけるスタイラスの変形量を求めることができ、測定誤差が生じない。

請求項（抜粋）：

測定機本体への取付部と、測定子と、この測定子を前記取付部に互いに直交する3つの軸方向に変位可能に支持する支持機構と、前記測定子の各軸方向への変位量を検出する変位量検出手段とを備えた変位測定プローブにおいて、前記測定子が被検物の表面に押し付けられた時、前記測定子に作用する押し付け力を検出する押し付け力検出手段と、前記押し付け力から前記測定子の変形量を演算する演算手段とを備えてなることを特徴とする変位測定プローブ。

IPC (3件)：

G01B 21/00 ,  G01B 21/32 ,  G01L 1/22

FI (3件)：

G01B 21/00 B ,  G01B 21/32 ,  G01L 1/22 Z