特許

J-GLOBAL ID：200903003175196794

AlN反射鏡

発明者： 豊田 誠司 ,  黒光 祥郎 ,  菅村 邦夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129407
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311208
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】高い耐熱性及び熱伝導性を有し、基体と金属層との密着性に優れ、反射面の加工性がよく生産性が向上する。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体からなる基体11と、基体11を熱酸化して基体11表面に形成されたAl2O3層12と、このAl2O3層12上に設けられたSiO2層13と、このSiO2層13上に設けられた貴金属厚膜14とを備える。窒化アルミニウム焼結体がY2O3及びCaOからなる群より選ばれた1種又は2種の金属酸化物を0.1〜10重量%含有することが好ましく、Al2O3層12が0.2〜20μmであって、SiO2層13が0.01〜10μmであることが好ましい。貴金属厚膜14の表面粗さは中心線平均粗さで0.2μm以下であり、貴金属厚膜14がAu,Ag,Pd及びPtからなる群より選ばれた1種又は2種以上の金属を含むことが好ましい。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結体からなる基体(11)と、前記基体(11)を熱酸化して前記基体(11)表面に形成されたAl2O3層(12)と、前記Al2O3層(12)上に設けられたSiO2層(13)と、前記SiO2層(13)上に設けられた貴金属厚膜(14)とを備えたAlN反射鏡。

IPC (3件)：

G02B 5/08 ,  C04B 41/90 ,  F24J 2/10

FI (3件)：

G02B 5/08 A ,  C04B 41/90 C ,  F24J 2/10