環境制御型走査電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-053811
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174768
出願日： 1991年02月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】[目的] 大きな加速電圧の電子線で絶縁物を帯電なしに観察可能とし、かつ信号対雑音比を改善する。[構成] 電子銃からの電子ビームを圧力制限開口を通して低圧力の気体中にある試料に照射して走査し、前記試料からの2次電子を2次電子検出器で検出する電子光学系を有する環境制御型走査電子顕微鏡において、前記試料に対するビーム照射点と前記圧力制限開口との間の距離よりも、前記ビーム照射点からの距離が近い位置に前記2次電子検出器を設ける。また、前記電子光学系の対物レンズは2つの磁極を備えたインレンズ型とし、これらの磁極の間に試料を挿入して観察を行なうと好都合である。さらに、前記2次電子検出器の少なくとも前記ビーム照射点に対向したエッジに丸みをもたせることによってより高い電圧を2次電子検出器に印加できる。

請求項（抜粋）：

電子銃からの電子ビームを圧力制限開口を通して低圧力の気体中にある試料に照射して走査し、前記試料からの2次電子を2次電子検出器で検出する電子光学系を有する環境制御型走査電子顕微鏡において、前記試料に対するビーム照射点と前記圧力制限開口との間の距離よりも、前記ビーム照射点からの距離が近い位置に前記2次電子検出器を設けたことを特徴とする環境制御型走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/18 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-273445
特開平1-183047
特表平1-502225

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