特許

J-GLOBAL ID：200903003176403092

微小粒子配列装置

発明者： 吉田 芳博 ,  岩田 和志 ,  坂津 務 ,  岩渕 寿章 ,  桑崎 聡
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322313
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148332
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】本発明はLSIの実装等に使用する軽量な導電性微小粒子を不必要な部分に付着させたり破損することなく配列できる微小粒子配列装置を提供する。【解決手段】下部から空気の吸引されるセラミック多孔板3上に導電性微小粒子2を配列すべき位置に導電性微小粒子2の直径の2倍未満の大きさの開孔部5の形成されたマスク4を被せ、マスク4上の導電性微小粒子2を短い導電繊維の植毛された柔らかなスキージ6により移動させる。導電性微小粒子2は、スキージ6によりマスク4上を移動され、吸引される空気により、開孔部5内に吸引挿入され、セラミック多孔板3上に配列・吸着される。

請求項（抜粋）：

吸着性を有し、導電性微小粒子の配列されるフレームと、前記導電性微小粒子の径の2倍未満の径を有し、前記導電性微小粒子を配列させるための開孔部が形成され、前記フレーム上に載置されるとともに、前記導電性微小粒子がその上部に載置される所定の厚さのマスクと、所定の柔らかさを有し、前記マスク上で移動して前記導電性微小粒子を前記マスク上で移動させる移動手段と、を備え、前記マスク上の前記導電性微小粒子を前記移動手段により前記マスク上で移動させ、前記導電性微小粒子を前記マスクに形成された前記開孔部内に挿入して、前記フレーム上に配列・吸着させることを特徴とする微小粒子配列装置。

IPC (3件)：

H01L 21/321 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60

FI (4件)：

H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 21/92 604 Z