特許

J-GLOBAL ID：200903003176627918

オージェ電子分光装置

発明者： 工藤 政都 ,  山田 貴久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-221621
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061385
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 試料付近における磁場の影響を排除し、空間分解能の低下、スペクトルの歪みをなくし高精度の分析ができるようにする。【解決手段】 試料4に加速された電子を照射し、試料面から発生したオージェ電子を分光して試料表面の分析を行うオージェ電子分光装置において、対物レンズ2と試料4と分光器5との間に現れる磁場をキャンセルするための磁場キャンセルコイル10を、対物レンズ2の周りや、対物レンズ2の下部に設けた防磁筒3の周り、分光器5を覆う磁気シールドの周りに巻き付けて直流及び交流の電流を流して試料付近の磁場を制御する。したがって、試料面付近に現れる地球磁場や外部の浮遊磁場の影響を除くためのキャンセル磁場を発生することができ、これらの磁場による悪影響を有効にキャンセルすることができる。

請求項（抜粋）：

試料に加速された電子を照射し、試料面から発生したオージェ電子を分光して試料表面の分析を行うオージェ電子分光装置において、対物レンズと試料と分光器との間に現れる磁場をキャンセルするための磁場キャンセルコイルを設けたことを特徴とするオージェ電子分光装置。

IPC (3件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/252 ,  H01J 49/44

FI (3件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/252 Z ,  H01J 49/44

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭59-138044
  
• 特開昭53-025493
  
• 特開昭62-022400
  
• 特開平1-296552
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-138044
  
• 特開昭53-025493
  
• 特開昭62-022400
  
• 特開平1-296552