特許
J-GLOBAL ID：200903003179324185
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053017
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259023
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 露光装置に関し、ウェーハを保持するチャックの表面を自動的に洗浄することを目的とする。【構成】 ステージ1に載置されたチャック2にウェーハ3を吸着し、該ウェーハ3の表面にレチクルパターンを縮小投影露光する露光装置であって、洗浄治具4と、再生治具5から構成されており、前記洗浄治具4は、チャック2の表面を洗浄するものであり、前記再生治具5は、洗浄治具4を再使用できるように洗浄するものであって、ステージ1にチャック2と面一に並べて載置されているものであり、洗浄治具4は、常に再生治具5によって洗浄されたあと、チャック2を洗浄するものであるように構成する。
請求項（抜粋）：
ステージ(1) に載置されたチャック(2) にウェーハ(3) を吸着し、該ウェーハ(3) の表面にレチクルパターンを縮小投影露光する露光装置であって、洗浄治具(4) と、再生治具(5) を有し、前記洗浄治具(4) は、前記チャック(2) の表面を洗浄するものであり、前記再生治具(5) は、前記洗浄治具(4) を再使用できるように洗浄するものであって、前記ステージ(1) に前記チャック(2) と面一に並べて載置されているものであり、前記洗浄治具(4) は、常に前記再生治具(5) によって洗浄されたあと、前記チャック(2) を洗浄するものであることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
