特許
J-GLOBAL ID:200903003179812520

放射線画像変換パネルの製造方法及び製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-218416
公開番号(公開出願番号):特開平10-062599
出願日: 1996年08月20日
公開日(公表日): 1998年03月06日
要約:
【要約】【課題】 気相堆積法によって形成された輝尽性蛍光体層を有する中央部分も周縁部分もともに感度と粒状性と鮮鋭性に優れた放射線画像変換パネルの製造装置の提供。【解決手段】 排気手段で減圧される蒸着室に基板配置手段と、基板配置手段に配置される基板の表面側の輝尽性蛍光体蒸発手段と、基板配置手段に配置される基板の裏面側の基板加熱手段とを備え、前記基板加熱手段により基板を加熱した状態で前記輝尽性蛍光体蒸発手段により基板上に輝尽性蛍光体層を形成する放射線画像変換パネルの製造装置において、前記基板加熱手段が基板の裏面側を中央部分から周縁部分までの複数域に区分するのに対応した複数の独立に加熱条件を制御される加熱手段から成り、基板の裏面側に前記複数域の区分に対応して貼付される複数の温度センサーの検出情報に基づいてそれぞれ前記対応した複数の加熱手段の制御を行う制御手段を備えた構成。
請求項(抜粋):
基板上に気相堆積法によって形成された輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルの製造方法において、基板の表面側に気相堆積法によって輝尽性蛍光体層を堆積させる際に、基板の裏面側を中央部分から周縁部分までの複数域に区分するのに対応した複数の独立に加熱条件を制御される加熱手段により前記複数域の温度を所定の温度にするために加熱することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。

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