特許

J-GLOBAL ID：200903003180886804

配線パターン検査装置及び配線パターン検査方法

発明者： 荒谷 竹敏 ,  尾崎 一幸 ,  助則 英智 ,  岡元 謙次
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241331
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105926
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【目的】 配線パターン検査装置の改善に関し、直触プローブ検査に依存することなく、被検査基板上に非接触電圧検出手段を走査して、配線パターンの断線又は短絡位置を高速に探索する。【構成】 配線パターン15Aの端が1列置きにショートバーSB1により短絡され、相互に入れ子状に組み合わされた多列パターンを有する被検査基板15の断線又は短絡を検査する装置において、被検査基板15の一方の端のショートバーSB1に第1の電圧V1を印加し、かつ、他方の端のショートバーSB2に第2の電圧V2を印加する電圧供給手段11と、第1,第2の電圧V1,V2に対する多列パターンの短絡されていない側の電圧Vxを測定する非接触電圧検出手段12と、被検査基板15上で検出手段12を走査するか又は該検出手段下を被検査基板15を走査する走査手段13を備える。

請求項（抜粋）：

配線パターンの端が1列置きにショートバーにより短絡され、相互に入れ子状に組み合わされた多列パターンを有する被検査基板の断線又は短絡を検査する装置において、前記被検査基板の一方の端のショートバーに第1の電圧を印加し、かつ、該被検査基板の他方の端のショートバーに第2の電圧を印加する電圧供給手段と、前記第1の電圧及び第2の電圧に対する前記多列パターンの短絡されていない側の電圧を測定する非接触電圧検出手段と、前記被検査基板上で非接触電圧検出手段を走査するか又は前記非接触電圧検出手段下を被検査基板を走査する走査手段を備えることを特徴とする配線パターン検査装置。

IPC (6件)：

G01R 31/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01R 31/302 ,  G06T 7/00 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01R 31/28 L ,  G06F 15/62 405 A