特許

J-GLOBAL ID：200903003185337310

カラー液晶表示装置用遮光格子の形成方法

発明者： 伊藤 真穂
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-212087
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061615
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 光学濃度が十分に高いカラー液晶表示装置用遮光格子の形成方法を提供しようとするものである。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、感光性酸発生剤、前記感光性酸発生剤から発生した酸触媒により前記アルカリ可溶性樹脂を架橋反応させる酸架橋性を有する樹脂もしくは化合物および黒色顔料を含有する化学増幅型黒色レジストを透明な基板に塗布して黒色化学増幅型レジスト膜を形成した後、任意のパターンを有するマスクを通して露光する工程と、前記露光後の黒色レジスト膜を熱処理することによって前記黒色化学増幅型レジストの露光部分を選択的に架橋させる工程と、前記基板を現像液に浸することにより未露光部を溶解除去して黒色レジストパターンを形成する工程と、前記黒色レジストパターンを熱処理して硬化させる工程とを具備したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感光性酸発生剤、前記感光性酸発生剤から発生した酸触媒により前記アルカリ可溶性樹脂を架橋反応させる酸架橋性を有する樹脂もしくは化合物および黒色顔料を含有する化学増幅型黒色レジストを透明な基板に塗布して黒色化学増幅型レジスト膜を形成した後、任意のパターンを有するマスクを通して露光する工程と、前記露光後の黒色レジスト膜を熱処理することによって前記黒色化学増幅型レジストの露光部分を選択的に架橋させる工程と、前記基板を現像液に浸することにより未露光部を溶解除去して黒色レジストパターンを形成する工程と、前記黒色レジストパターンを熱処理して硬化させる工程とを具備したことを特徴とするカラー液晶表示装置用遮光格子の形成方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335