特許

J-GLOBAL ID：200903003185635338

ビームダクトの支持装置

発明者： 新野 満成
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002647
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191000
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 ビーム中心の位置検出の精度を低下させることなく、ビームダクトのビームポジションモニタ取付け部分をビームダクトの軸線方向へ移動可能に支持する。【構成】 ビームダクト13の軸線に対して平行に延びる上部が開口した溝状のガイド部28を有し且つ基礎16に固定された支持部材27と、ガイド部28に嵌合する摺動部31を有し且つビームダクト13のビームポジションモニタ14の取付け部分を支持する支持部32を有する移動部材30と、摺動部31の側面とガイド部28と間に挿入された調整シム36と、調整シム36の反摺動部側の面に当接するように支持部材27に螺着された調整ボルト38とを備え、支持部材27、移動部材30、調整シム36、調整ボルト38を非磁性体によって形成する。

請求項（抜粋）：

ビームダクトの軸線に対して平行に延びる上部が開口した溝状のガイド部を有し且つ基礎に固定された支持部材と、ビームダクトの軸線に平行な方向へ摺動し得るように前記のガイド部に嵌合する摺動部を有し且つビームダクトのビームポジションモニタが取り付けられている部分を支持する支持部を有する移動部材と、前記の摺動部の側面とガイド部との間に挿入された調整シムと、該調整シムの反摺動部側の面に当接するように支持部材に螺着された調整ボルトとを備え、これらの支持部材、移動部材、調整シム、調整ボルトを非磁性体によって形成したことを特徴とするビームダクトの支持装置。