特許

J-GLOBAL ID：200903003187007270

焦電型赤外線固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 友藤 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049407
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247844
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 焦電型赤外線固体撮像装置の感度を向上させる。【構成】 白金でなる電極パッド4および6が、導電性の樹脂製バンプ電極5によって接合されており、電極パッド4の上部に形成された焦電薄膜3は、画素サイズに分離されている。そして、焦電薄膜3は、(100)MgO単結晶基板である支持基体(図示せず)上で成長されたものであり、支持基体はエッチングにより除去されている。

請求項（抜粋）：

支持基体上に焦電薄膜を形成し、その後、前記支持基体を除去して構成される焦電型赤外線固体撮像装置であって、前記焦電薄膜の、前記支持基体側とは反対側の面に、2次元に配列された第1の電極と、前記焦電薄膜により発生された信号を読み出す読み出し回路を含む半導体基板と、前記半導体基板上に、前記第1の電極と対応するように設けられた第2の電極と、前記第1の電極の、前記焦電薄膜側とは反対側の面と、第2の電極の、前記半導体基板側とは反対側の面とを接合するように配置された柱状電極とを備え、前記焦電薄膜は、画素サイズに分離されていることを特徴とする焦電型赤外線固体撮像装置。

IPC (5件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33

FI (6件)：

G01J 1/02 Y ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 5/02 M ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K