特許

J-GLOBAL ID：200903003188886919

液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法

発明者： ▲高▼部 本規
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-035651
公開番号（公開出願番号）：特開2009-190350
出願日： 2008年02月18日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：

【課題】個々に駆動信号の電圧値を設定することなく所望の特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法は、基板10上に設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80をこの順で積層してなる薄膜型の圧電素子300を有し、下電極及び上電極間に電圧を印加することにより、圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子に、電圧を印加して圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を40〜100°Cで加熱する加熱工程とを有する。【選択図】図5

請求項１：

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に設けられる下電極、厚さが5μm以下である圧電体層及び上電極をこの順で積層してなる圧電素子とを具備し、前記下電極及び前記上電極間に電圧を印加することにより、前記圧電素子を撓み変形させて圧力発生室に圧力を発生させて液体を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法において、 電圧を印加して前記圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を40〜100°Cで加熱する加熱工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

IPC (6件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z

Fターム (11件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-329609   出願人：セイコーエプソン株式会社