特許

J-GLOBAL ID：200903003192448195

研磨装置および研磨方法

発明者： 奥谷 憲男 ,  安平 宣夫 ,  新宮 克喜
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-091489
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277097
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】【課題】 リテーナリングの研磨摩擦による相対的移動方向への変位を少なくすること、基板周縁部における平坦性を向上すること、およびリテーナリング内周面に溜まる研磨液を簡単に洗浄除去することが可能な研磨装置を提供する。【解決手段】 被研磨材11を研磨材21に押圧するとともに、被研磨材11を研磨材21に対して相対的移動させて研磨する研磨装置において、被研磨材11を研磨材21に押圧する被研磨材押圧手段4と、リテーナリング3を研磨材21に押圧するリテーナリング押圧手段6と、研磨材21を被研磨材11とリテーナリング3に押圧する研磨材押圧手段2と、被研磨材11を押圧する圧力を制御する被研磨材押圧力制御手段24と、リテーナリング3を押圧する圧力を制御するリテーナリング押圧力制御手段25と、研磨材21を押圧する圧力を制御する研磨材押圧力制御手段26とを設けた。

請求項（抜粋）：

片面を保持部材で保持されるとともに周囲をリテーナリングで囲まれた円板状の被研磨材を研磨材に押圧するとともに、被研磨材を研磨材に対して相対的に移動させて研磨する研磨装置において、前記被研磨材を前記研磨材に押圧する被研磨材押圧手段と、前記リテーナリングを前記研磨材に押圧するリテーナリング押圧手段と、前記研磨材を前記被研磨材と前記リテーナリングに押圧する研磨材押圧手段と、前記被研磨材押圧手段の前記被研磨材を押圧する圧力を制御する被研磨材押圧力制御手段と、前記リテーナリング押圧手段の前記リテーナリングを押圧する圧力を制御するリテーナリング押圧力制御手段と、前記研磨材押圧手段の前記研磨材を押圧する圧力を制御する研磨材押圧力制御手段とを設けたことを特徴とする研磨装置。

Fターム (9件)：

3C058AA12 ,  3C058AA14 ,  3C058AB04 ,  3C058BA05 ,  3C058BB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17