特許
J-GLOBAL ID：200903003193792280

走査装置及びその製作方法

発明者：
ヤン-ジョー イ

ヤン-ジョー イ について

, 
チャン-ヒョン ジ

チャン-ヒョン ジ について

, 
セォン-ヒョク キム

セォン-ヒョク キム について


出願人/特許権者：
エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド

エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド について


代理人 (10件)： 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  舘石 光雄 ,  小野塚 薫 ,  田上 明夫 ,  ▲高▼ 昌宏 ,  中村 壽夫 ,  加藤 勉 ,  村越 祐輔 ,  小宮 知明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-235894
公開番号（公開出願番号）：特開2006-079078
出願日： 2005年08月16日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】 マイクロミラーの構造的安定性を向上させてマイクロミラーのフラッタを防止し、走査角度を大きくし、走査速度を向上させ得る走査装置を提供する。【解決手段】 上部基板100及び下部基板200が上下に結合されている。その中心部に第1中心空間部101、第2中心空間部が貫通形成され、マイクロミラー部110を回動自在に設ける。マイクロミラー部110の両端部には、マイクロミラー部110を上部基板100に支持する1対の回動付勢部140(トーションビーム)が形成される。駆動部は、上部基板100に備えられた可動櫛形電極120と、下部基板200に備えられて静電気力により可動櫛形電極120と相互作用する固定櫛形電極220とから構成される。製造は、半導体の製造技術が適用される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反射光の方向を調節できるように回動軸を中心に、所定角度、回動自在に基板に形成されたミラー部と、 前記ミラー部の動的変形を防止するように前記ミラー部の一面に形成され、前記ミラー部を支持する支持フレームと、 前記基板に備えられて前記ミラー部を駆動させる駆動部と、 を含むことを特徴とする走査装置。
IPC (7件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/04 ,  B81C 1/00 ,  H04N 1/113 ,  H04N 1/036 ,  G02B 26/08
FI (7件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  H04N1/04 104Z ,  H04N1/036 Z ,  G02B26/08 E
Fターム (27件)：
2H041AA12 ,  2H041AC06 ,  2H045AB06 ,  2H045AB18 ,  2H045AB73 ,  2H045CB65 ,  2H045DA02 ,  5C051AA02 ,  5C051CA05 ,  5C051DA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB06 ,  5C051DB24 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE09 ,  5C072AA01 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA03 ,  5C072BA13 ,  5C072DA04 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05 ,  5C072XA10
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (15件)
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