特許
J-GLOBAL ID:200903003194100030
振動環境における性能が改善された振動梁加速度計
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
小野 新次郎
, 社本 一夫
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 小野 達己
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-012181
公開番号(公開出願番号):特開2009-236899
出願日: 2009年01月22日
公開日(公表日): 2009年10月15日
要約:
【課題】共振器の非線形性によるクロスカップリング係数にほぼ等しいとともに符号が逆であるプルーフマスの振り子のドループによるクロスカップリング係数を有する加速度計を提供すること。【解決手段】この加速度計は、プルーフマスと、少なくとも2つの対向する内壁を有する筐体と、筐体の対向する壁のうち第1の壁に対して第1の端部でプルーフマスをたわみ可能に接続する1つまたは複数のたわみ部とを含む。第1の共振器は、上記第1の端部の反対側のプルーフマスの端部でプルーフマスの第1の面に接続されるとともに、たわみ部に取り付けられていない筐体壁に接続される。第2の共振器は、プルーフマスの第2の面および第1の共振器を受ける筐体壁に接続される。第2の面は、第1の面のようにプルーフマスの反対側にある。【選択図】図2
請求項(抜粋):
プルーフマス(60)と、
少なくとも2つの対向する内壁(68)を備える筐体と、
前記筐体の前記対向する壁のうち第1の壁に対して第1の端部で前記プルーフマスをたわみ可能に接続する1つまたは複数のたわみ部(62)と、
前記プルーフマスの前記第1の端部の反対側の前記プルーフマスの端部で前記プルーフマスの第1の面に接続されるとともに、前記たわみ部に取り付けられていない前記筐体壁に接続される第1の共振器(64-1)と、
前記プルーフマスの第2の面および前記第1の共振器を受ける前記筐体壁に接続される第2の共振器(64-2)と
を備え、
前記第2の面は前記第1の面のように前記プルーフマスの反対側にあり、前記第1の共振器および前記第2の共振器は音叉共振器である、
加速度計(58)。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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