特許
J-GLOBAL ID:200903003196799758
低酸素雰囲気はんだ付け装置におけるヒューム除去方法および装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小林 将高
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-336772
公開番号(公開出願番号):特開平6-164132
出願日: 1992年11月25日
公開日(公表日): 1994年06月10日
要約:
【要約】【目的】 発生したヒュームを捕集して付着させることによって、ヒュームを外部に排出することなく、不活性ガスによる低酸素雰囲気の安定化を図る。【構成】 低酸素雰囲気はんだ付け装置1に、不活性ガスを保持するチャンバ2に1つ以上の開口部9を形成し、これらの開口部9には発生したヒュームを付着させる捕集板22を取り付け、この捕集板22を冷却するための冷却装置26を捕集板22に対し着脱自在に取り付けてなるヒューム除去装置21を有することを特徴としている。
請求項(抜粋):
チャンバ内を不活性ガスによる低酸素雰囲気に保持した中で、プリント基板にはんだ付けをする低酸素雰囲気はんだ付け装置におけるヒューム除去方法において、前記チャンバに形成した1つ以上の開口部に捕集板を設けておき、この捕集板を冷却装置により冷却し、前記チャンバ内で発生したヒュームを前記捕集板によって冷却し付着させて、前記チャンバ内のヒュームを除去することを特徴とする低酸素雰囲気はんだ付け装置におけるヒューム除去方法。
IPC (4件):
H05K 3/34
, B01D 45/08
, B01D 49/00
, B23K 1/008
引用特許:
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