ステージ装置及び該装置を備えた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-065789
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261570
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】位置決め対象物と共に移動する可動部の所定方向への変位を計測するための光ビームの他に、特に回転角を計測するための光ビームを用いることなく、その可動部の回転角を計測する。【解決手段】干渉計本体12Xからのレーザビームが偏光ビームスプリッタ17Xによって計測用ビームLX1及び参照用ビームLX2に分割され、計測用ビームLX1はダブルパスユニット18Xと試料台8のミラー面8xとの間を2往復した後に、干渉計本体12Xに戻り、参照用ビームLX2は、ダブルパスユニット22Xと参照鏡14Xとの間を2往復して干渉計本体12Xに戻り、干渉計本体12Xでミラー面8xの変位が検出される。ステージ回転角検出系15Xによって計測用ビームLX1の横シフト量を検出することによって、ミラー面8xの回転角を検出する。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物を載置して該位置決め対象物と共に移動する可動ステージと、該可動ステージに計測用の光ビームを照射すると共に該可動ステージから戻される光ビームを受光して該可動ステージの所定方向への変位を検出する干渉計と、を備えたステージ装置であって、前記可動ステージから戻される光ビームの横シフト量、又は振れ角の変化量の少なくとも一方を検出する光ビーム検出系と、該光ビーム検出系の検出結果に基づいて前記可動ステージの回転角を算出する演算系と、を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-139326
特開昭62-139013
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-073097 出願人：株式会社ニコン

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