フィルタ切替え方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216277
公開番号（公開出願番号）：特開平10-057733
出願日： 1996年08月16日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】常圧CVD装置の排気ガス排出装置のフィルタ切替え方法において、成膜に影響する排気圧変動を受けることなく自動的に切替えできるとともに圧力の監視や交換時期の見極めなどの管理を不要にする。【解決手段】フィルタ2,3の背面圧損の限界値信号と成膜装置の成膜停止信号とを同時に得てフィルタ切替え可の信号を転送し、フィルタ2,3のいずれかを成膜停止時に自動的に切替えている。

請求項（抜粋）：

成膜装置に付設され該成膜装置の排気ガスを排出し濾過するフィルタをそれぞれ内蔵する複数の排気分岐管を具備する排気ガス排出設備におけるフィルタ切替え方法において、前記排気ガスが排出されているいずれかの前記排気分岐管に内蔵された前記フィルタの背面側の圧力値が限度を超えることを検知するとともに前記成膜装置の成膜停止であることを認知し、しかる後、排気中の前記分岐管のバルブを閉じ、他のいずれかの一つの前記分岐管のバルブを開けることを特徴とするフィルタ切替え方法。

IPC (3件)：

B01D 46/00 , C23C 16/44 , H01L 21/205

FI (3件)：

B01D 46/00 F , C23C 16/44 E , H01L 21/205

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