特許

J-GLOBAL ID：200903003208070430

検出コイル一体型SQUID

発明者： 横澤 宏一 ,  栗城 眞也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-204488
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048303
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 SQUID磁束計の検出コイル入力換算の磁気雑音を低減する。【解決手段】 1枚の基板10に超伝導体からなる検出コイル3、3’とSQUID部分を成膜する。SQUIDリングは2つのジョゼフソン接合1をつなぐ2つの超伝導体(SQUIDリングのインダクタンス)2、2’、超伝導線2、2’に並列に検出コイル3、3’が接続される。超伝導体3、3’は1回巻きの超伝導線、ワッシャ型のコイルでもよい。4、4’は帰還コイル、7はダンピング抵抗である。検出コイルは基板10の約半分の面積を持ち、SQUIDと検出コイルの形状を基板の中心に対して対称的な構造にする。【効果】 ジョゼフソン接合以外のSQUIDリングのインダクタンスは検出コイルとの結合に寄与し、形状が対称性のためSQUIDのマイクロ波ステップの影響が低減しSQUIDの磁束-電圧変換特性が向上し雑音が低減する。

請求項（抜粋）：

2つのジョゼフソン接合を2つの第1の超伝導体で連結してなるSQUIDリングにおいて、前記第1の超伝導体の各々に連結される第2の超伝導体を有し、前記第1の超伝導体と前記第2の超伝導体とが超伝導の複数の閉回路をなすことを特徴とする検出コイル一体型SQUID。

IPC (2件)：

G01R 33/035 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA

FI (2件)：

G01R 33/035 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA D