特許

J-GLOBAL ID：200903003210687127

レジストスピン現像装置

発明者： 谷口 由雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158443
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353114
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 固定式カップ内に一時貯留された現像廃液の固化、堆積を防止し、定期的な固定式カップの清掃頻度を減らし、稼働率を向上できるレジストスピン現像装置を実現する。【解決手段】 固定式カップ3内の現像液溶媒が蒸発した雰囲気を排気する排気口6に排気量を調節する排気ダンパ9を設け、スピン処理時以外の排気量をスピン処理時の排気量より少なくなるよう制御することにより、固定式カップ3内への現像液溶媒の蒸気を含まない外気の流入を抑制することができ、固定式カップ3内の現像液溶媒蒸気濃度を上昇させることで、固定式カップ3内に一時貯留している現像廃液に含まれる溶媒の蒸発を低減させ、現像廃液の粘度の上昇を抑制し、現像廃液の固化、堆積を防止し、定期的な固定式カップ3内の清掃頻度を減らし、稼働率を向上させることができ、生産性の向上を図れる。

請求項（抜粋）：

基板上に現像液を滴下してスピン塗布する手段と、排気口が設けられ現像廃液を一時貯留する固定式カップとを備えたレジストスピン現像装置であって、前記固定式カップの前記排気口からの排気量を制御するダンパを1箇所以上設けるとともに、現像液のスピン塗布時以外の排気量をスピン塗布時の排気量よりも少なくするように前記ダンパを制御する制御手段を設けたことを特徴とするレジストスピン現像装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/30 502

FI (3件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 569 C

Fターム (12件)：

2H096AA25 ,  2H096AA28 ,  2H096AA30 ,  2H096GA29 ,  4F042AA06 ,  4F042AA07 ,  4F042AA10 ,  4F042EB05 ,  4F042EB17 ,  4F042EB24 ,  5F046LA06 ,  5F046LA07