特許
J-GLOBAL ID：200903003211077209
イオンビーム中のイオン種割合測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288086
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106779
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 操作員への負担を軽減すると共に、イオン種割合の測定を迅速かつ正確に行うことができるイオン種割合測定装置を提供する。【解決手段】 このイオン種割合測定装置34は、測定対象のイオンビーム6を質量分析する分析マグネット14と、それにマグネット電流I1 を供給するマグネット電源16と、分析マグネット14で分離したイオン種によるイオン電流I2 を計測するイオン電流計測器18と、計測制御装置24とを備えている。計測制御装置24は、イオン電流I2 のマグネット電流I1 に対する一次微分および二次微分を求める手段と、これらからイオン電流I2 の1以上のピーク位置およびその位置でのピーク強度を求める手段と、各ピーク強度の割合を求める手段と、この割合を表示する表示装置48とを備えている。
請求項（抜粋）：
測定対象のイオンビームを質量分析する分析マグネットと、この分析マグネットにそれを励磁するマグネット電流を供給する出力電流可変のマグネット電源と、分析マグネットから選択的に導出されるイオン種によるイオン電流を計測するイオン電流計測器と、マグネット電源を制御して分析マグネットに供給するマグネット電流を変化させ、そのときのマグネット電流とイオン電流計測器で計測されるイオン電流とを互いに対応させて計測する計測手段と、この計測手段で計測したイオン電流のマグネット電流に対する一次微分値を算出する一次微分手段と、同イオン電流のマグネット電流に対する二次微分値を算出する二次微分手段と、この二次微分値に対して設定されたしきい値および二次微分値がこのしきい値と等しくなる二つの点間のマグネット電流の幅に対して設定された許容幅を用いて、二次微分値の負側の絶対値がこのしきい値以上でありかつその幅が許容幅以下である部分をピーク部分とみなしてその絶対値が最大値を示す点のマグネット電流値を検出してそれを仮のピーク位置とするピーク位置検出手段と、この仮のピーク位置での一次微分値が0であり、かつこのピーク位置のマグネット電流値が大きい側隣りでの一次微分値が負であるか否かを判定してその結果が肯定的であればこの仮のピーク位置を真のピーク位置として確定するピーク位置確定手段と、このピーク位置確定手段によって確定された1以上のピーク位置でのイオン電流値をそれぞれ求めてそれをピーク強度とするピーク強度決定手段と、この各ピーク強度の割合を算出するピーク割合算出手段と、この各ピーク強度の割合をそれぞれ表示する表示装置とを備えることを特徴とするイオンビーム中のイオン種割合測定装置。
IPC (5件)：
H01J 49/26
, C23C 14/48
, G01N 27/62
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H01J 49/26
, C23C 14/48 B
, G01N 27/62 D
, H01J 37/317 C
, H01L 21/265 D
, H01L 21/265 T
