シール装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴江正二 , 木村俊之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-092942
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263345
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】基本性能に優れる非接触型メカニカルシール部を有する構成としながら、シール部において生じたコンタミがプロセス側に及ばないようにして、総合的に改善されたシール装置を実現する。【解決手段】静止密封環5から回転密封環3とのシール面6にシールガスを噴出させる公知構造の非接触型メカニカルシールaを有するシール装置おいて、シール面6の外径側に形成されるラビリンス部10と、これを通過するシール流体Sgを回収する戻り路11と、これに連通するリング状の緩衝用空間15とをケーシング側部材4に形成し、緩衝用空間15とラビリンス部10とに亘る複数の戻り孔13dが、回転部材2の軸心Pを中心とする周上に均等角度毎に配置される状態で形成される。【選択図】図1

請求項１：

被軸封機器の回転部材と一体回転する回転密封環と、被軸封機器のケーシング側部材に回転不能で、かつ、弾性機構によって前記回転密封環に常時付勢される状態に保持される静止密封環とを、シール流体を前記静止密封環に形成された流体通路から前記回転密封環と前記静止密封輪とのシール面に供給することにより、前記弾性機構の付勢力に抗して非接触状態に維持可能に構成される非接触型メカニカルシールを有するシール装置であって、前記シール面の外径側において前記回転部材とケーシング側部材とによって形成されるラビリンス部と、前記シール面から前記ラビリンス部を通過するシール流体を回収すべく前記ケーシング側部材に形成される戻り路と、前記戻り路に連通する状態で前記ケーシング側部材に形成されるリング状の緩衝用空間とを設け、前記緩衝用空間と前記ラビリンス部とに亘って連通される複数の戻り孔が、前記回転部材の軸心を中心とする周上に均等又はほぼ均等角度毎に配置される状態で前記ケーシング側部材に形成されているシール装置。

IPC (2件)：

F16J 15/34 , F16J 15/447

FI (2件)：

F16J15/34 C , F16J15/447

Fターム (14件)：

3J041AA01 , 3J041AA06 , 3J041BA04 , 3J041BB02 , 3J041BD06 , 3J041DA06 , 3J041DA11 , 3J042AA03 , 3J042AA13 , 3J042AA16 , 3J042BA01 , 3J042CA10 , 3J042DA09 , 3J042DA13

引用特許：

出願人引用 (4件)

警報器の移報回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-217226 出願人：ホーチキ株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084919 出願人：東京エレクトロン株式会社
処理装置用シール装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-196510 出願人：日本ピラー工業株式会社

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審査官引用 (2件)

処理装置用シール装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-196510 出願人：日本ピラー工業株式会社
軸封装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-102037 出願人：三菱重工業株式会社

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