特許
J-GLOBAL ID：200903003211802299
有機薄膜形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-288557
公開番号（公開出願番号）：特開平5-125525
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 ルツボの加熱,冷却時間を短縮することができ、有機薄膜基板の製造能力が向上する有機薄膜形成装置を得ることを目的とする。【構成】 ルツボ3を取り囲むように配設された電熱線30と、ルツボ3に接触するように配設されるとともに電熱線30を保持する筒部31と、この筒部31に接触して取り囲むように配設された水冷ジャケット32とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
所定の真空度に保持された真空槽と、この真空槽内に配置された基板と、この基板に対向して設けられ、この基板に向けて蒸着有機物質の蒸気を噴出して蒸気物質のクラスターを発生させるルツボと、このルツボを加熱する加熱部と、この加熱部と前記基板との間に配設され、前記クラスターの一部をイオン化するためのイオン化部と、このイオン化部と前記基板との間に配設され、前記イオン化部によってイオン化されたクラスターを前記基板に向けて運動エネルギーを付与して衝突させるための加速部とを備えた有機薄膜形成装置において、前記加熱部は、前記ルツボを取り囲むように配設された電熱線で構成されているとともに、この電熱線は前記ルツボに接触するように配設された筒部で保持され、またこの筒部に接触しかつ取り囲むように水冷ジャケットが配設されたことを特徴とする有機薄膜形成装置。
IPC (2件)：
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