特許
J-GLOBAL ID：200903003213102278
Al合金遮光薄膜及び遮光薄膜形成用Al合金スパツタリングターゲツト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230497
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065631
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 反射率が高く、密着性が良く、エッチングが容易であり、耐ヒロック性に優れ、熱伝導率が低く、又、耐食性に優れてピンホールが発生し難く、そのため液晶表示パネル又は固体撮像装置の遮光薄膜として好適に使用し得るAl合金遮光薄膜を提供する。【構成】 合金成分としてTi,Zr,Taのうちの1種又は2種以上を合計で 0.2〜10at%含有するAl合金よりなるAl合金遮光薄膜及びその遮光薄膜形成用Al合金スパッタリングターゲット。
請求項（抜粋）：
合金成分としてTi,Zr,Taのうちの1種又は2種以上を合計で 0.2〜10at%含有するAl合金よりなることを特徴とするAl合金遮光薄膜。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C22C 21/00
, C23C 14/14
, G02F 1/1343
