微小機械の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩佐義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-073707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-255862
出願日： 1991年03月14日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】微細な機械要素の製造を可能にする。【構成】基板1の上にレジスト2を塗布し、レジストパターン3を形成する。レジスト表面を活性化した後、無電解めっき液の中に投入してめっきを行う。レジストを除去して、機械要素を製造する。

請求項（抜粋）：

微小機械要素の製造工程において、無電解めっき法を用いた金属薄膜形成工程を含むことを特徴とする微小機械の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 18/31 , C23C 18/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

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