特許

J-GLOBAL ID：200903003225106236

基板検査装置及び基板検査方法

発明者： 山岡 秀嗣
出願人/特許権者： オー・エイチ・ティー株式会社
代理人 (1件)： 丸山 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001564
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194406
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 検査対象の基板への負担を減少させ、且つ、回り込み現象をキャンセルすることができる基板検査装置を提案する。【解決手段】 ICを含む基板に、該基板の第1の端子40aと第2の端子40bから正弦波信号を入力し、該基板の第3の端子40cで検出された検査出力信号に基づいて前記基板の良否を判定する基板検査装置。ICは整流素子により保護された内部端子を有し、前記第1の端子と第2の端子は夫々ICの所定の内部端子に接続されることにより、第1の端子と第2の端子に印加された正弦波信号は前記所定の内部端子の内部端子の整流素子により整流されて、高調波成分を付加される。この基板検査装置は、第3端子に近接させて第3の端子からの輻射波を検出するためのプローブ301を有する。

請求項（抜粋）：

基板上若しくは基板中の回路パターンの不良を検査する基板検査装置であって、検査対象の回路パターンに接続されている任意の2つの第1の端子と第2の端子の間に、交流成分を含む検査信号を印加する手段と、前記回路パターンに接続されている第3の端子において発生する検査出力信号を検出するプローブとを具備し、前記検査出力信号に基づいて前記回路パターンの良否を検査する基板検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302

FI (3件)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/28 L

Fターム (10件)：

2G011AB00 ,  2G011AE22 ,  2G014AA01 ,  2G014AB51 ,  2G014AC19 ,  2G032AA00 ,  2G032AD08 ,  2G032AF07 ,  2G032AG01 ,  2G032AH03