特許
J-GLOBAL ID：200903003225282026
プローブ及びその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034938
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230974
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】一点で終端する突起を持ち、長い有効部を持つ探針として作用するプローブを提供する。【解決手段】プローブ100は、平らな支持部110と、この支持部110から隆起した凸構造部120とを有している。凸構造部120は四つの面122,124,126,128によって定められており、これらにより形成された五本の稜線130,132,134,136,138を有している。凸構造部120は、三本の稜線130,132,138が一点で交わって形成された第一の突起部140と、三本の稜線134,136,138が一点で交わって形成された第二の突起部142とを有している。第一の突起部140と第二の突起部142は稜線138を基準にして測定される高さが異なっており、第一の突起部140の高さAは第二の突起部142の高さBよりも大きい。
請求項（抜粋）：
平らな支持部と、支持部から隆起した凸構造部とを備えるプローブであって、凸構造部は四つの面によって定められ、この四つの面によって五本の稜線が形成されており、五本の稜線はそのうちの三本が二カ所において一点で交わるように延びており、凸構造部は、三本の稜線が実際に交わって形成された第一の突起部と第二の突起部とを有し、第一の突起部と第二の突起部は、三本の稜線が交わる二カ所を結ぶ稜線を基準にして測定される高さが異なっている、プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
