特許
J-GLOBAL ID：200903003231537060
シート状物の欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223777
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062146
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 シート状被検査物の大きさ、厚みに影響されず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ検査精度の高いシート状物の検査装置を提供する。【解決手段】 一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、(1)ベルトに通気性素材を用いること、(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向面に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、(3)該センサーの撮像部(焦点)が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設された構造の欠陥検査装置とする。
請求項（抜粋）：
一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、(1)ベルトに通気性素材を用いること、(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向面に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、(3)該センサーの撮像部(焦点)が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設されてなることを特徴とするシ-ト状物の欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 Z
, G01N 21/89 A
