特許

J-GLOBAL ID：200903003234552591

気相コーティング用Ti-Hf系合金ターゲット材料

発明者： 池田 貢基 ,  安永 龍哉 ,  河田 和久
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213583
公開番号（公開出願番号）：特開平10-060631
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】 従来のTi-Hf系合金ターゲット材料での問題点を解消し、気相コーティング法による成膜時に安定した放電特性が得られ、効率よく成膜することができ、且つターゲット寿命の長い気相コーティング用Ti-Hf系合金ターゲット材料を提供する。【解決手段】 相対密度が99.0〜100%であり、且つターゲット表面3からターゲット裏面に貫通する欠陥がないことを特徴とする気相コーティング用Ti-Hf系合金ターゲット材料。

請求項（抜粋）：

Ti-Hf系合金よりなる気相コーティング用Ti-Hf系合金ターゲット材料であって、相対密度が99.0〜100%であり、且つターゲット表面からターゲット裏面に貫通する欠陥がないことを特徴とする気相コーティング用Ti-Hf系合金ターゲット材料。