特許

J-GLOBAL ID：200903003234733030

加速度計およびその製造方法

発明者： 岡本 興司 ,  上杉 太郎
出願人/特許権者： 株式会社共和電業
代理人 (1件)： 栗原 聖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-339244
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142427
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 小型化に適し、低価格であり、製造が容易である加速度計およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明は、作用部と可撓部と固定部とからなる主基板1と、前記作用部に接合された重錘体2と、前記主基板の一面に形成された光学的バッファ層4と、これの一面に形成された光導波層5と、これの一端面に接合されレーザ光を前記光導波層の内部に入射させるレーザダイオード6と、前記光導波層の一面に形成されこの光導波層に入射されたレーザ光を外部へ放射する集光グレーティングカップラ7と、前記光導波層の一面と対向して配置された保持板8と、これを前記光導波層の一面に固定している支持部材9と、前記集光グレーティングカップラから出射されるレーザ光がほぼ集光される前記保持板の位置に形成されている4分割フォトダイオード10とを有する。

請求項（抜粋）：

主基板に光導波層を形成し該光導波層に集光グレーティングカップラを設けると共に前記主基板と所定間隔をおいた対向面に光検出手段を設け、前記主基板に平行なXY平面を設定してこれと直交するZ軸のX,Y,Z3軸方向の加速度を、前記光導波層に入射させた光を前記集光グレーティングカップラから出射し、出射光を前記光検出手段により検出することにより、同時に計測し得るようにしたことを特徴とする加速度計。

IPC (4件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/03 ,  H01L 29/84 ,  H01L 31/12

FI (4件)：

G01P 15/08 A ,  G01P 15/03 C ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 31/12 B