特許
J-GLOBAL ID：200903003234951470
円錐形ドームを有する誘電結合平行平板型プラズマリアクター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287181
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149899
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 正確な温度制御が可能なプラズマ反応チャンバを提供することを課題とする。【解決手段】 基板処理位置52’を包囲するチャンバ壁130を円錐台形状とし、この外表面に面接触するコイル支持部材188内に誘導コイル180が設けられている。誘導コイル180の外側には、内部に加熱体を有するヒーター被覆212が配され、さらにその外周に内部に水などの伝熱流体を流す冷却流体通路220を有する冷却リング200が配置されている。この構成により、チャンバ壁130から冷却リング200まではそれぞれの温度差で膨張率が異なっても面接触を維持したまま摺動するので、広い伝熱面を有し、加熱体や伝熱流体を利用してチャンバ壁130の温度をほぼ一定に保つことができる。
請求項（抜粋）：
チャンバ内の基板処理位置に面した内壁面と前記内壁面に対向する円錐形外壁面とを有する円錐形部分を有するチャンバ壁と、前記外壁面の直近に配設されて次第に径が拡大している多重巻線を有する円錐形誘導コイルと、を備えるプラズマ真空処理チャンバ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H05H 1/46 L
, H05H 1/46 M
, H01L 21/302 B
