流体計測装置およびそれに用いられる光学的読取部品

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148749
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354065
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】簡易で低コストな構成でありながら、良好な計測精度でガスなどの流体の流量値の計測が可能であり、気密性を損なう虞がなく、かつ防爆性を満たすことができる流体計測装置を実現する。【解決手段】光反射板104が、ロッド102の長手方向に対して光反射面が直交するようにロッド102の上端に設けられている。光源光学部材105から照射された光が受光光学部106へと至るまでの距離がロッド102の移動に伴った光反射板104の移動によって変化することで、受光光学部材106で受ける光の強度またはエネルギ密度が、光源光学部材105から照射された光が受光光学部へと至るまでの距離の二乗に比例して変化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

計測対象の流体の圧力に対応して表面に変動が生じるように設けられたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの表面の変動に連動して長手方向に位置的な移動を生じるように設けられたロッドと、前記ダイヤフラムおよび前記ロッドを内部に収容する、気密構造の外殻ボディーと、前記ロッドの長手方向の一端に設けられて、前記ロッドの移動に伴って前記外殻ボディーの内部で位置が移動するように設定された光反射板と、前記外殻ボディーに固定的に配置され、前記光反射板に対して所定の光源光を照射させる光源光学部材と、前記光源光学部材から照射されて前記光反射板で反射された光を受けるように、前記外殻ボディーに固定的に配置された受光光学部材とを有して、前記光源光学部材から照射された光が前記受光光学部へと至るまでの距離が前記ロッドの移動に伴った前記光反射板の移動によって変化することで、前記受光光学部材で受ける光の強度またはエネルギー密度が変化するように設定されている光学的読取部と、前記光源光学部材に対して導光部材を介して前記光源光を供給する光源部と、前記受光光学部材で受けた光を導光部材を介して受光する光センサと、前記光センサで受光した光の強度またはエネルギー密度に対応して、前記計測対象の流体の流量値を演算する流体計測値演算部とを備えたことを特徴とする流体計測装置。

IPC (1件)：

G01L9/00

FI (1件)：

G01L9/00 B

Fターム (8件)：

2F055AA39 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD20 , 2F055EE31 , 2F055FF41 , 2F055FF43 , 2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-067198
フロート式液面センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-119134 出願人：株式会社富士通ゼネラル

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