特許
J-GLOBAL ID:200903003236660596

半導体製造装置の制御方法と半導体製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-042440
公開番号(公開出願番号):特開2000-243676
出願日: 1999年02月22日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】【課題】 各プロセス制御部に設定値を設定する設定処理の間にプロセス制御部からの測定値の取込み処理が割り込むことなく設定タイミングのずれを最小にする半導体製造装置の制御方法と半導体製造装置を提供する。【解決手段】 本発明の半導体製造装置の制御方法は、入力処理を中断する中断要求101を受けると、入出力制御部8はプロセス制御部1a〜1cからの測定値取込み処理を中断し、入力された設定値の変更の有無をユニット制御部7a〜7cで判別して変更がある場合には設定値変更要求105,107を出力し変更が無い場合には設定値無変更要求106を出力し、設定値変更要求105,107を対応するプロセス制御部1a,1cに出力しユニット制御部7a〜7cからの変更要求105〜107がプロセス制御部1a〜1cの数だけ入力されると、入出力制御部8は前記測定値取込み処理を再開するものである。
請求項(抜粋):
ユニット制御手段からの設定値を入出力制御手段を介して複数のプロセス制御手段に出力し半導体を製造するための被制御対象の物理量をこの設定値に制御し、前記複数のプロセス制御手段で測定した物理量の測定値を前記入出力制御手段を介して前記ユニット制御手段に出力するよう制御して半導体を製造するに際し、入力処理中断要求を受けると、前記入出力制御手段は前記プロセス制御手段からの測定値取込み処理を中断し、入力された設定値の変更の有無をユニット制御手段で判別して変更がある場合には設定値変更要求を出力し変更が無い場合には設定値無変更要求を出力し、前記設定値変更要求を対応するプロセス制御手段に出力し前記ユニット制御手段からの変更要求が前記プロセス制御手段の数だけ入力されると、前記入出力制御手段は前記測定値取込み処理を再開する半導体製造装置の制御方法。

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