特許
J-GLOBAL ID:200903003237339244
研磨装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 勤 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-101948
公開番号(公開出願番号):特開平8-294578
出願日: 1995年04月26日
公開日(公表日): 1996年11月12日
要約:
【要約】【目的】 ペレット、湯、洗剤等の研磨剤、洗浄剤を使用しないで、研磨清掃が完全に行われる研磨装置をうることを目的とするものである。【構成】 回転板の遠心力によって、被研磨材を外周方向に移動させ、上面板の固定ブラシと回転板の回転ブラシの間を移動させることによって、被研磨材の表裏面及び側面に付着した汚塵を取除くことのできる研磨装置である。
請求項(抜粋):
次の構成を備えた研磨装置。(1) 被研磨材が遠心力によりガイド部方向に移動する整列部を内側に備え、清掃研磨部を外側に備えた円板状の回転板。(2) 被研磨材の投入部を内側に備え、前記回転板の清掃研磨部に対向する清掃研磨部を外側に設け、かつ前記回転板を軸受を介して支持する支持板にカラーを介して固定される上面板。(3) 被研磨材をガイドして放出部に導く前記上面板の清掃研磨部の外周に設けられた外周ガイド部。(4) 外周ガイド部先端に多孔又は網目状からなるシュートとフィルターを設けた集塵部。
引用特許:
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