特許
J-GLOBAL ID：200903003237723834
走査型投影光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-203413
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056090
出願日： 1993年08月17日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 比較的小さな光学部材で構成することができ、かつ大きなNAを得るために有利な反射屈折光学系を採用し、物像領域が軸外の円弧であり、投影倍率が1倍である走査型投影光学系を提供すること【構成】 投影光学系が、物側、像側共テレセントリックな光学系であり、正のパワーを有する第1屈折レンズ群と、殆どパワーを有しない第2屈折レンズ群と、さらには1枚の凹面鏡とを有し、上記正のパワーを有する第1屈折レンズ群と上記凹面鏡とによってペッツバール条件を満たして像面湾曲を補正し、この第2屈折レンズ群は、第1屈折レンズ群及び上記凹面鏡で満たされたペッツバール条件を崩すことなく、光軸上を中心とする円弧状領域の収差を補正するように構成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被投影物を所定の走査幅で走査することによって投影する走査型投影光学系であって、被投影物を円弧状領域に照明する照明部と、上記照明部によって円弧状に照明された被投影物の像を像面内に形成する反射屈折光学系と、上記被投影物及び上記像面に配置された受光部材と、上記照明部及び上記反射屈折投影部を照明方向と直交する方向へ相対的に移動させる駆動装置とを有する走査型投影装置において、上記投影光学系は、物側、像側共テレセントリックな光学系であり、正のパワーを有する第1屈折レンズ群と、殆どパワーを有しない第2屈折レンズ群と、さらには1枚の凹面鏡とを有し、上記正のパワーを有する第1屈折レンズ群と上記凹面鏡とによってペッツバール条件を満たして像面湾曲を補正し、この第2屈折レンズ群は、第1屈折レンズ群及び上記凹面鏡で満たされたペッツバール条件を崩すことなく、光軸上を中心とする円弧状領域の収差を補正するように構成されていることを特徴とする走査型投影光学系。
IPC (3件)：
G02B 17/08
, G02B 13/22
, G02B 26/10
