液晶駆動用基板及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336292
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153788
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】プロセスを過度に複雑化させることなく容易に反りを解消し、対向電極とのギャップを均一にすることができる液晶駆動用基板を提供する。【解決手段】半導体基板1の表面に、少なくとも液晶駆動用のスイッチング素子5と、これに電気的に接続される配線層7と、表面絶縁層8と、前記配線層7に電気的に接続される画素電極9とを形成してなる液晶駆動用基板15において、前記半導体基板1の裏面に、前記半導体基板1に発生した内部応力に起因する反りを相殺する応力を持った応力相殺膜17を設ける。これにより、反りを解消し、対向電極とのギャップを均一にする。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面に、少なくとも液晶駆動用のスイッチング素子と、これに電気的に接続される配線層と、表面絶縁層と、前記配線層に電気的に接続される画素電極とを形成してなる液晶駆動用基板において、前記半導体基板の裏面に、前記半導体基板に発生した内部応力に起因する反りを相殺する応力を持った応力相殺膜を設けたことを特徴とする液晶駆動用基板。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 500 , G09F 9/00 346

FI (2件)：

G02F 1/1333 500 , G09F 9/00 346 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-050920
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-342821 出願人：キヤノン株式会社
液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-132417 出願人：株式会社リコー

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