特許

J-GLOBAL ID：200903003242965927

圧電体素子、及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド

発明者： 角 浩二 ,  牧志 哲也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-015126
公開番号（公開出願番号）：特開2005-209898
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】 発生する応力を分散して素子の破損を起こりにくくした圧電体素子、更にこれを用いた液体噴射ヘッド及びこれらの製造方法を提供する。 【解決手段】 下部電極33の厚みの異なる部分を設け、圧電体膜43の圧電特性の異なる111配向の領域と100配向の領域を形成する。これにより、大きな歪みを必要とする部分では大きな歪みが得られ、大きな歪みが素子の破損をもたらす恐れがある部分では小さな歪みが得られるようにした。特に液体噴射ヘッド220の圧力発生室12の周縁部において歪みを小さくすることで、応力を緩和し素子の破損を防止する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

基板に支持された下部電極と、前記下部電極上に形成された圧電体膜と、圧電体膜上に形成された上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記下部電極の厚みの違いによって当該下部電極上に形成される前記圧電体膜の結晶構造の配向が異なることを特徴とする圧電体素子。

IPC (7件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

FI (8件)：

H01L41/08 J ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 Z

Fターム (12件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-199881   出願人：セイコーエプソン株式会社