特許
J-GLOBAL ID：200903003253684512
圧電/電歪アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087885
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275883
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 圧電/電歪アクチュエータを、例えばインクジェットプリントヘッドのインクポンプとして用いて、インクノズル部材に接着する際に、圧電/電歪素子の破損を防止しつつ、良好な接着性・シール性を確保すると共に、接着作業性を改善する。【構成】 内部に設けた複数の空間46にてそれぞれ振動壁部67が形成された基体70と、該基体の各振動壁部に対応する外面上の位置に、膜形成法によって順次形成された下部電極膜74、圧電/電歪膜76および上部電極膜78からなる圧電/電歪素子80とからなり、圧電/電歪素子によって振動壁部の一部を振動させるようにした圧電/電歪アクチュエータにおいて、前記基体の外面上の隣り合う圧電/電歪素子の間に、圧電/電歪素子よりも所定寸法突出する高さで台地状干渉部82を設けた。
請求項（抜粋）：
内部に設けた複数の空間にてそれぞれ振動壁部が形成された基体と、該基体の各振動壁部に対応する外面上の位置に、膜形成法によって順次形成された下部電極膜、圧電/電歪膜および上部電極膜からなる圧電/電歪素子とからなり、該圧電/電歪素子によって前記振動壁部の一部を振動させるようにした圧電/電歪アクチュエータにおいて、前記基体の外面上の隣り合う圧電/電歪素子の間に、該圧電/電歪素子よりも所定寸法突出する高さで台地状干渉部を設けたことを特徴とする圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B06B 1/06
, B41J 2/175
, H02N 2/00
, H04R 17/00
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 102 Z
