特許

J-GLOBAL ID：200903003254057236

力学センサ及びその製造方法

発明者： 田村 美樹 ,  伏見 正弘 ,  宇田 芳己 ,  左納 義久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347471
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 検出感度及び強度に優れ、且つ安定性に優れた力学センサ及びその製造方法を提供すること。【構成】 平板状の基板がエッチング処理されて検出用梁部と重り部とが一体的形成され、且つ該検出用梁部に外力により変形を生じる重り部の変形量を検出する為の検出素子が設けられている力学センサにおいて、検出用梁部の基板部分の断面形状が略八角形であり、且つ検出用梁部の検出素子が形成されている面とその面に隣接する2面の3面が保護膜で覆われていることを特徴とする力学センサ及びその製造方法。

請求項（抜粋）：

平板状の基板がエッチング処理されて検出用梁部と重り部とが一体的形成され、且つ該検出用梁部に外力により変形を生じる重り部の変形量を検出する為の検出素子が設けられている力学センサにおいて、検出用梁部の基板部分の断面形状が略八角形であり、且つ検出用梁部の検出素子が形成されている面とその面に隣接する2面の3面が保護膜で覆われていることを特徴とする力学センサ。

IPC (4件)：

G01P 9/04 ,  C23F 4/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/09